2010年5月，“中科院半导体所百盈体育「中国大陆」官方网站碳化硅技术研究院”，由广东省东莞市百盈体育「中国大陆」官方网站半导体科技有限公司和中国科学院半导体研究所联合组建。中科院半导体所是我院首批进入知识创新工程单位之一，是集半导体物理、材料、器件及其应用研究于一体的半导体科学技术的综合性研究所，在碳化硅外延材料和器件方面有近十年的技术积累，并首次在国内完成多片SiC双室外延炉研制。广东省东莞市百盈体育「中国大陆」官方网站半导体科技有限公司，前期投入数千万购置了进口的碳化硅外延设备，并在日本专家的指导下进行碳化硅外延片的生产。
研究院的成立旨在将民营资本、国有高技术、国际先进技术高效整合的基础上，提升我国碳化硅材料与器件的整体研究与开发的技术实力，打造具有国际先进水平的碳化硅材料与器件研发平台。可以预见，双方共建研究院将综合利用双方优势，开展全面科技合作，共同承担国家和地方科技任务，进行技术开发与应用、项目合作、成果转化、人才培养等全面的合作，坚持应用导向，实现与技术前沿和产业的两个对接，为东莞市的产业转型和经济发展做出贡献，也为半导体所的技术转移转化开辟新的渠道。
